EPMA(Electron Probe Micro Analyzer)分析とは、細く絞った高エネルギーの電子線を試料に照射し、試料から発生する特性X線*の信号を利用してその場所の組織や元素の分布を知る分析方法です。分析方法には、以下に記す定性分析と定量分析があります。

*特性X線とは、各元素の原子核を取り巻く内殻電子の遷移によって発生するX線で、元素に固有な幾つかの波長(エネルギ−)としてあらわれます。

＜定性分析＞
　対象試料がどのような元素によって構成されているのかを調べる分析操作で、電子線照射により試料から発生した特性X線スペクトルを測定し、既知特性X線デ−タと照合して同定します。

＜定量分析＞
　試料を構成している各元素が、どの程度の割合(濃度)で含まれているのかを知るための分析操作で、元素濃度の明らかな標準試料の特性X線強度と、未知試料の特性X線強度とを比較することによって求めます。